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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明公开了一种薄膜体声波谐振滤波器，具有高的品质因数(Q)和高的机电耦合系数(Kt2)，满足高频通信系统的要求。该薄膜体声波谐振滤波器包括顶部电极边缘处台阶、顶部电极、压电薄膜、底部电极、带有空气背腔的绝缘支撑层。本发明在顶部电极边缘处设计了第一台阶、第二台阶和第三台阶，用于反射兰姆波(Lambwaves)。通过对顶部各级台阶长度、宽度、厚度的设计，对寄生谐振具有最佳的抑制效果，有效消除了薄膜体声波谐振滤波器的相位响应中的纹波。通过优化设计，该薄膜体声波谐振滤波器具有高的品质因数(Q)，高的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112165310 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202011021256.2
(22)申请日 2020.09.25
(71)申请人 中国科学技术大学
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