1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

用于将籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统.pdfVIP

  • 2
  • 0
  • 约1.7万字
  • 约 20页
  • 2023-05-23 发布于四川
  • 举报

用于将籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统.pdf

    本发明实施例公开了一种用于将拉晶炉中的籽晶旋转杆与坩埚旋转基座对中的方法及系统，该方法包括：使设置在籽晶旋转杆上的第一激光器向下发射第一颜色的第一激光束，以在水平地设置在籽晶旋转杆与坩埚旋转基座之间的透明板上形成第一光斑；使设置在坩埚旋转基座上的第二激光器向上发射第二颜色的第二激光束，以在透明板上形成第二光斑；相应于第一激光器位于籽晶旋转杆的旋转中心处并且第一激光束在竖直方向上以及第二激光器位于坩埚旋转基座的旋转中心处并且第二激光束在竖直方向上，检测第一光斑与第二光斑是否重合；若是则确认籽晶旋转

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112160023 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202011073670.8 (22)申请日 2020.10.09 (71)申请人 西安奕斯伟硅片技术有限公司

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >