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利用双层材料制备有序自组织纳米结构的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-23 发布于四川
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利用双层材料制备有序自组织纳米结构的方法.pdf

    一种利用双层材料制备有序自组织纳米结构的方法，该方法包括以下步骤：在第一膜层上形成第二膜层，所述第一膜层和第二膜层为不互溶的双层材料；离子束轰击所述第二膜层至深度到达所述第一膜层内，诱导所述第一膜层形成有序自组织纳米结构。本发明基于双层材料形成的自组织纳米结构之间的差异和引导作用，通过利用离子轰击自调控的自组织纳米结构的制备方法，快速地提高自组织纳米结构有序性、长程性，具有工艺简单、成本低、易于实现的优势。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112158798 A (43)申请公布日 2021.01.01 (21)申请号 202010991748.8 (22)申请日 2020.09.18 (71)申请人 中国科学技术大学 地址

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