一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法，该电容型压力传感器结构包括基底、电极层、介电层，在第一介电层和第二介电层之间设置有多个弹性微珠，弹性微珠材料为聚二甲基硅氧烷，在电容型压力传感器的介电层中引入弹性微珠，增加了介电层中的空气间隙，减小了介电层的杨氏模量，同时使传感器受到压力时内部应力集中分布于弹性微珠，器件更容易发生形变，进而提高电容型压力传感器的灵敏度和检测范围，结果表明，本发明提供的基于弹性微珠的电容型压力传感器在0‑10kPa下灵敏度为0.0479kPa‑1，是介电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112179529 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010917848.6 (22)申请日 2020.09.03 (71)申请人电子科技大学地址

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