用于集成的端到端自对准多重图案化工艺的操作平台和方法.pdfVIP

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2023-05-24 发布于四川
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用于集成的端到端自对准多重图案化工艺的操作平台和方法.pdf

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提供了一种用于使用在公共生产平台上执行的集成的加工步骤序列来在半导体工件上进行自对准多重图案化的方法，该公共生产平台托管成膜模块、刻蚀模块和搬送模块。将其上形成有心轴图案的工件接收到公共生产平台中。至少部分地基于心轴图案形成侧壁间隔物图案，该侧壁间隔物图案具有分隔开第二间距距离的多个第二特征，其中，第一间距距离大于该第二间距距离。集成的加工步骤序列是在不离开受控环境的情况下在公共生产平台内执行的，并且搬送模块用于在使该工件维持在受控环境内的同时在加工模块之间搬送工件。广义上讲，是使用选择性/保形

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112189255 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 201980032362.X (72)发明人罗伯特 ·克拉克　理查德 ·法雷尔　

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