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一种盲端工作的准分子灯，包括外管、内管，外管、内管均采用绝缘材料，并且外管采用透射真空紫外光的绝缘材料制造，其中外管和内管均为盲管结构，外管套接在内管外部且二者之间保留间隙，外管的开口端与内管的管壁密封连接形成纵截面为U形的气室，在气室内部充填在高频高压电场作用下处于激发状态并发出真空紫外光的工作气体；在内管的盲端内部设置有高压电极。本发明提供的准分子灯，通过内管和外管两个盲管结构构造出U形的气室，气室内部充填气体，并且气室的顶部作为工作端，在内管内设置高压电极，而外部不设置地电极，通过外管的顶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112169179 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011078917.5
(22)申请日 2020.10.10
(71)申请人 罗璐
地址 1022
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