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本发明公开了一种离子束和化学机械抛光组合的铝合金反射镜加工方法，包括：对铝合金反射镜利用单点金刚石车削进行面形误差修正；对铝合金反射镜进行离子束修行；对铝合金反射镜进行迭代化学机械抛光。由于铝合金化学性质活泼，材料偏软，普通加工方法以产生污染和损伤，反复迭代加工降低效率。本发明提出非接触式离子束加工和化学机械抛光组合工艺的方法，可提高铝合金反射镜加工效率和精度。本发明通过对单点金刚石车削后的铝反射镜表面进行低能离子束溅射实现精确的高精度表面面形修形，达到目标面形需求，后通过化学机械抛光方法对离子
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112171387 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011043575.3
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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