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本公开提供一种检测器件及其制造方法、微电子元件的检测方法，该检测器件包括：衬底；呈阵列分布的多个微检测单元，微检测单元包括：偏转电极和至少一个寻址电极，偏转电极包括相对的两端，相对的两端能够在寻址电极和偏转电极所形成的电场力驱动下，绕一铰接支点摆动，以使检测端向靠近或远离衬底的方向偏转；向寻址电极上输送第一驱动信号的第一信号线；向偏转电极上输送第二驱动信号的第二信号线，第一驱动信号和第二驱动信号用于使寻址电极与偏转电极之间形成电场力；驱动电路结构层，形成于衬底上，并与第一信号线和第二信号线均电连
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112180228 A
(43)申请公布日 2021.01.05
(21)申请号 202011044273.8
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 京东方科技集团股份有限公司
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