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2023-05-24 发布于四川
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本发明中，将凝固点低于吸附物质的凝固点的干燥前处理液供给至衬底(W)的表面，使吸附物质吸附于图案(P1)的表面。冷却衬底(W)上的干燥前处理液，由此使衬底(W)上的干燥前处理液的一部分凝固而沿着图案(P1)的表面形成含有吸附物质的凝固膜(101)。一面使凝固膜(101)残留于衬底(W)的表面，一面将未用于形成凝固膜(101)的剩余的干燥前处理液自衬底(W)的表面去除。当将剩余的干燥前处理液去除后，或与将剩余的干燥前处理液去除同时地，通过使凝固膜(101)变成气体而将凝固膜(101)自衬底(W)的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112189252 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 201980034028.8 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

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