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载置台、基板处理装置以及载置台的组装方法.pdfVIP

载置台、基板处理装置以及载置台的组装方法.pdf

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    本发明提供载置台、基板处理装置以及载置台的组装方法。抑制盖构件相对于载置台主体的位置偏移，利用用于抑制该位置偏移的机构防止载置台主体热膨胀或者热收缩时该载置台主体产生破损。载置基板的载置台包括：载置台主体，该载置台主体在上表面载置基板；盖构件，其覆盖载置台主体的上表面的外缘部；以及位置偏移防止用构件，其设于载置台主体的上表面与盖构件的下表面之间，能够滚动或者滑动，在载置台主体的上表面形成有收容位置偏移防止用构件的主体侧凹部，在盖构件的下表面形成有收容被主体侧凹部收容的位置偏移防止用构件的盖侧凹部

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112185881 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 20201

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