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本发明涉及一种框架式三自由度压电谐振自致动机构及其激励方法,属于压电驱动领域,可以用于精密驱动、医疗、微机械等领域。本发明是为了解决现有的三自由度压电自致动装置输出力较小、成本高、致动能力不足的问题。本发明的三自由度压电谐振自致动机构为框架式结构,所述该电谐振自致动机构包括四组结构完全相同的串联式柱状压电换能器及其连接装置,每组串联式柱状压电换能器可以视为由两个三角梁连接的两个柱状纵振换能器构成。本发明所述该自致动机构的激励方法是通过两相电压激励信号分别激励四组串联式柱状压电换能器的纵振,实现其
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112217415 A
(43)申请公布日
2021.01.12
(21)申请号 20191
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