用于基板处理装置的温度控制组件及其使用方法.pdfVIP

用于基板处理装置的温度控制组件及其使用方法.pdf

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本公开的示例性实施例提供了改进的反应器系统、组件和用于控制反应器系统内的温度(例如气体供应单元的温度)的方法。示例性系统和方法采用排气单元以使流体在气体供应单元的一部分上移动，以更好地控制气体供应单元的温度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112176318 A (43)申请公布日 2021.01.05 (21)申请号 202010606546.7 (22)申请日 2020.06.29 (30)优先权数据 62/870,13

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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