静电对集成电路的损伤原理.pdf

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2023-05-27 发布于台湾
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静电对集成电路的损伤原理 ESD（Electro-Static Discharge）即静电释放：两个带不同静电电平的物体，通过直接接触或静电电场的作用会使两物体的静电电荷发生位移，当静电电场达到一定能量，之间的介质被击穿而产生放电，这就是ESD的全过程。例如，在干燥的秋冬季节，推开门，开关抽屉，整理书籍，甚至按下电脑开关都有静电累积和释放的动作，可以说，我们就生活在一个静电的世界。ESD引起集成电路损伤的三种途径： (1)人体活动引起的摩擦起电是重要的静电来源，带静电的操作者与器件接触并通过器件放电。(2)器件与用绝缘材料制作的