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清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法.pdfVIP

清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法.pdf

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    该发明涉及一种清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法，其中所述清洁装置，内置有气体腔，用于存储清洁气体，且所述清洁装置表面设置有气孔，与所述气体腔连通，用于供所述气体腔内存储的清洁气体喷出，且所述气孔设置有开关，用以在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开。所述清洁装置以及晶圆处理设备以及晶圆载台的清洁方法具有所述气体腔和所述气孔，以及具有开关，只有在所述气体腔和外界的压差大于一第一预设阈值时打开，因此保证了所述清洁装置在喷出清洁气体时有一定的清洁力度，从而保证了清洁效果。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112222096 A (43)申请公布日 2021.01.15 (21)申请号 20191

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