原创力文档- 1
- 0
- 约2.04万字
- 约 19页
- 2023-05-25 发布于四川
- 举报
本申请提供了一种声表面波滤波器及其制备方法，包括并联谐振器和串联谐振器，并联谐振器和串联谐振器依次级联。并联谐振器包括第一压电异质集成衬底和第一金属电极，第一金属电极设置在第一压电异质集成衬底上，串联谐振器包括第二压电异质集成衬底和第二金属电极，第二金属电极设置在第二压电异质集成衬底上，第一金属电极的材料与第二金属电极的材料不同，第一金属电极中铝的含量小于第一预设阈值，第二金属电极中铝的含量大于第二预设阈值，第一预设阈值小于第二预设阈值。相较于采用单一金属材料作为串并联谐振器的电极的滤波器，在不
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116155227 A
(43)申请公布日 2023.05.23
(21)申请号 202310092714.9
(22)申请日 2023.02.02
(66)本国优先权数据
文档评论（0）