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一种电脑塑壳双层电磁屏蔽层溅镀工艺。把产品装配至治具;把治具装入设备载具;装配载具上模;溅镀过渡室:过渡室内为负压,病进行除静电除湿处理;溅镀铜靶室:溅射源溅包括电源和溅射枪,溅射枪为磁控溅射枪,磁控溅射枪为圆柱型;溅镀不锈钢靶室:真空至10‑4mbar范围;注入氩气至10‑3bar范围;施以直流电压;溅镀过渡室:过渡室内为负压,病进行除静电除湿处理;下料溅镀OK的产品;测量阻值;包装。本发明改善了溅镀工艺,镀不锈钢前,加镀一层特殊的紫铜镀层,溅镀后镀层附着性好,提高产品良率至99.5%以上。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112251725 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011002018.7
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 安徽英力电子科技股份有限公司
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