一种氟化氢气体中微量水的分析装置以及分析方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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一种氟化氢气体中微量水的分析装置以及分析方法.pdf

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本发明提供一种氟化氢气体中微量水的分析装置以及分析方法，该分析装置包括：气体光吸收检测池，分析仪，真空泵，无水惰性气体钢瓶以及氢氟酸钢瓶；气体光吸收检测池包括待测气体通道及其两侧的密封腔体，待测气体通道的两端由耐腐蚀光窗密封，一个密封腔体内设有激光点光源和一个反射镜，另一个密封腔体内设有光检测器探头和另一个反射镜；通过调节激光点光源和反射镜的位置和角度，使得单波长激光在反射镜之间来回多次反射，最后到达光检测器探头并传输至分析仪，实现对氟化氢气体中微量水含量的分析。根据本发明，提供了一种消耗氢氟酸

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112213278 A (43)申请公布日 2021.01.12 (21)申请号 202011102022.0 (22)申请日 2020.10.15 (71)申请人中国

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