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本发明公开了一种低压检测气体的装置和方法。该装置包括：气体增压装置、采样装置、真空装置和检测装置；所述气体增压装置、所述采样装置、所述真空装置和所述检测装置分别通过气体管路与四通装置连接；所述气体增压装置用于增加所述采样装置内部的气压；所述检测装置用于测量所述采样装置内部的气体；所述气体增压装置与所述四通装置之间连接有减压阀；所述检测装置与所述四通装置之间连接有流量调节装置和第一阀门；所述真空装置与所述四通装置之间连接有第二阀门。本发明的低压检测气体方法在有限体积下能够准确地实现气体成分及含量的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112255336 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011042360.X
(22)申请日 2020.09.28
(71)申请人 中国科学院上海应用物理研究所
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