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本发明提出一种薄膜厚度的量值溯源方法，解决现有量值溯源系统溯源链长，不能直接溯源至国家长度计量标准的问题，基于共光路自校准薄膜厚度测量装置，利用宽谱光干涉获得待测薄膜厚度信息。薄膜厚度的量值可向上溯源至宽谱光干涉信号峰之间的光程上，宽谱光干涉信号峰之间的光程可向上溯源至光程扫描装置的光程扫描量上，光学延迟线的光程扫描量向上溯源至稳频激光器输出光信号的波长及相对频率稳定性上，稳频激光器输出光信号的波长及相对频率稳定性可溯源至国家长度计量基准器中的参考稳频激光器上，形成了完整的溯源体系，且不借助中间
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112254658 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202011042508.X 审查员 罗裕
(22)申请日 2020.09.28
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