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本发明提供一种阴极组件检漏方法及系统,包括如下步骤:启动检漏设备,在检漏仪自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态;执行检漏操作,筛选出不合格工件;所述检漏操作依次包括大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序;执行检漏操作时,阴极组件倒扣在下夹具上,上夹具向下移动包裹在阴极组件的连接管、支持体和端子的外部。通过大漏、小漏和氦漏三个阶段的检测手段,依次提高检测条件,对阴极组件逐步深入的检漏,最终筛选出无裂缝或漏孔的合格产品,且能够判断出泄漏的程度,分类筛选出不同泄露程度的阴极组件。与现有技术
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112240817 A
(43)申请公布日 2021.01.19
(21)申请号 202010788285.5
(22)申请日 2020.08.07
(71)申请人 广东
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