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本发明公开了一种等离子化学气相沉基材表面纳米膜的制备方法，其制备方法步骤如下：步骤一：利用丙酮和酒精对线路板金属基材表面进行清洗，步骤二：利用干燥箱对清洗后的线路板金属基材进行干燥；步骤三：将干燥后的线路板金属基材置于冷却箱内进行冷却；步骤四：将步骤二中冷却后的线路板金属基材置于等离子反应室内，步骤五：在等离子反应室低真空度的环境下，通过离子源放电处理系统进行表面放电处理；步骤六：将带有高侵蚀性气体的混合气体通过等离子反应室的导气管送入等离子反应室内；步骤七：将镀膜材料和等离子气体一同送入等离子
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112251738 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202011059598.3
(22)申请日 2020.09.30
(71)申请人 深圳市创智捷科技有限公司
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