牙叉式基板运输装置及其方法.pdfVIP

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2023-05-25 发布于四川
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牙叉式基板运输装置及其方法.pdf

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本发明提供一种牙叉式基板运输装置及其方法，主要由一升降机构及一牙叉组所组成，其中该升降机构，由一设置嵌入于该升降机构其中一面的升降轨道与设置于该升降机构一端的升降驱动器组成，该牙叉组由一设有一第一牙叉架与一第二牙叉架的支架所组成，其中该支架中段处设有一连接该升降机构的牙叉连接部，该支架与该第一牙叉架及该第二牙叉架连接处则设有可以使该牙叉架枢转的牙叉驱动器，当位于下层的基板借由牙叉组送至上层输送机构后，该牙叉组得以借由向下枢转方式使该牙叉组与该升降机构平行，再向下移回至下层输送机构下方。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112239069 A (43)申请公布日 2021.01.19 (21)申请号 20191