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本发明公开了一种高峰值功率激光焦点的定位方法，放大激光先经多孔掩膜完成能量衰减，衰减后的激光进入压缩器压缩，然后被离轴抛面镜聚焦，其焦点通过CCD直接定位。此方法不需要引入其他复杂的能量衰减光路，仅利用多孔掩膜就可以将高峰值功率激光的能量充分衰减，而且不改变激光聚焦特性，从而能够实现激光焦点的直接定位。此外，通过优化多孔掩膜中小孔的数量和直径，还能轻松实现不同程度的激光能量衰减。本发明具有经济高效，实用性强的特点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112222609 A
(43)申请公布日 2021.01.15
(21)申请号 202011001548.X
(22)申请日 2020.09.22
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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