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一种缓解绕镀的镀膜工艺.pdfVIP

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  • 2023-05-25 发布于四川
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一种缓解绕镀的镀膜工艺.pdf

    本申请涉及一种缓解绕镀的镀膜工艺，包括如下步骤：S1：底面覆盖，在衬板背离需镀设镀膜一侧进行遮挡覆盖；S2：侧面覆盖，在衬板周向进行遮挡覆盖；S3：进行镀膜，将底面和侧面遮挡覆盖的衬板放入等离子体化学气相沉积设备内进行镀膜。本申请具有降低饶镀现象对太阳能电池影响的效果。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116145117 A (43)申请公布日 2023.05.23 (21)申请号 202310148018.5 (22)申请日 2023.02.09 (71)申请人 浙江合特光电有限公司 地址 31

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