原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本公开提供一种电阻式微机械气压传感器及其制备方法。包括：衬底，设置有气腔和气体传输通道，气体传输通道将气腔与外界连通；导电介质，可移动地设置在气体传输通道中；第一敏感电阻和第二敏感电阻，相对间隔地设置在所述衬底内，第一敏感电阻和第二敏感电阻之间设置有气体传输通道；以及，在气腔内的气压发生变化时能推动导电介质在气体传输通道内移动，以使得导电介质在不同位置处分别与第一敏感电阻和第二敏感电阻接触。利用移动的导电介质代替形变的机械薄膜，避免了高应力带来的可靠性和稳定性问题；导电介质的移动距离和气体体积变
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112254865 A
(43)申请公布日 2021.01.22
(21)申请号 202010966717.7
(22)申请日 2020.09.15
(71)申请人 南京高华科技股份有限公司
文档评论（0）