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本发明公开了一种纳米级研磨系统用分装搬运装置，包括支撑架、料仓、框架和机械臂，所述框架的一侧安装有控制柜，所述框架一端的底端铰接有盖板，所述框架的内部固定有支撑架，且支撑架的顶端设置有料仓，所述第一齿轮的两侧均设置有第二齿轮，所述第二齿轮的一侧设置有第二齿板，所述机械手底端的两侧均设置有防偏移机构，所述防偏移机构一侧机械手的内部设置有气泵，且气泵的底端安装有吸盘。本发明不仅实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在搬运时具有防护效果、实现了该纳米级研磨系统用分装搬运装置在堆放过程中防止偏移现象以及实
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112276791 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202011129353.3 (56)对比文件
(22)申请日 2020.10.21
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