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本发明公开了一种基于线圈反馈结构的光加速度计装置，该装置由位于顶层的反馈线圈结构、永磁体、带反射膜的敏感质量块结构，位于中间的光栅结构和位于底层的光电激光探测器机构构成，顶层结构、中间结构和底层结构结构两端分别由外部框架连接固定形成一个统一整体。敏感质量块使得输入加速度转化为z轴位移变化量，进而转化为不同的光强大小，同时通过反馈线圈结构实现对永磁体的控制，形成完整的闭环系统，最后通过光电探测器检测并解调出不同光强，实现对外界加速度的测量。本发明提出的基于线圈反馈结构的光加速度计装置具有精度高、灵
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112285382 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011089978.1
(22)申请日 2020.10.13
(71)申请人 东南大学
地址 21
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