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一种边发射大功率激光器及其制造方法,该边发射大功率激光器,包括:依次层叠设置的N型衬底、N型缓冲层、N型覆盖层、下波导层、有源层、上波导层、P型覆盖层和P型欧姆接触层,所述下波导层和所述有源层为无掺杂;所述有源层整体呈现张应力,且所述张应力的值在阈值范围内;所述P型覆盖层和所述P型欧姆接触层通过蚀刻形成脊形的脊波导。本发明中的边发射大功率激光器采用张应力的有源层,从而端面会自然形成一个无吸收的窗口,可以较好地降低端面吸收而造成的发热,从而提高激光器端面损坏的阈值,提高激光器的输出功率和可靠性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112290384 A
(43)申请公布日 2021.01.29
(21)申请号 202011587388.1
(22)申请日 2020.12.29
(71)申请人 江西铭德半导体科技有限公司
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