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磁传感器及其制作方法.pdfVIP

磁传感器及其制作方法.pdf

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    本申请提供了一种磁传感器及其制作方法。该磁传感器包括至少一个磁传感器结构，其中，每个磁传感器结构包括至少一个磁传感组，各磁传感组包括两个磁传感单元，各磁传感单元包括串联的传感结构和加热结构，各传感结构包括叠置的自由层和参考层，各磁传感组中的两个磁传感单元的参考层的磁化方向相反。本申请解决了相关技术中，磁传感器难以实现同一裸片上参考层相反的磁化方向，且存在灵敏度、可靠性低的技术问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112289922 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 20191

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