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本发明公开了一种光芯片修复技术及设备，是依据超快激光非接触式且微纳米量级调控材料的特点，作为修复光芯片的关键技术，并通过实时检测修复时光芯片的光学响应和修复状态变化、不断自动化反馈调整超快激光的修复参数，从而实现光芯片的性能提升和缺陷修复。该修复技术及设备可针对不同衬底、波导材料和结构的光芯片作为修复目标，精准调控不同光芯片局部的有效折射率变化，即对应特定的光学信息变化作为修复的关键机理，基于此能精确地将其性能修复到符合所需要求。本发明利用超快激光修复光芯片的技术具有效率高、精度高、品质一致性好
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115971641 A
(43)申请公布日 2023.04.18
(21)申请号 202211650274.6
(22)申请日 2022.12.21
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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