一种氯硅烷纯化系统的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种氯硅烷纯化系统的方法及装置.pdf

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本发明涉及一种氯硅烷纯化系统的方法及装置。液态氯硅烷进入汽化器，汽化后进入过热器，过热后的物料于底部进入吸附塔，氯硅烷中硼、磷、金属、碳痕量杂质与吸附剂上负载的络合剂物质发生化学络合吸附反应被转化为高沸点或固态物质；吸附塔出料部分作为CPS气相产品，部分经冷凝器冷凝后进入CPS液相产品储罐，经CPS产品泵外运；CPS气相或液相产品经简单脱重精馏获得几乎不含硼、磷、金属、碳痕量杂质的高纯氯硅烷产品。利用化学络合吸附对氯硅烷进行纯化，使硼、磷、金属、碳痕量杂质含量最终降低至0.05ppb以下。利用纯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112250073 A (43)申请公布日 2021.01.22 (21)申请号 202011279241.6 (22)申请日 2020.11.16 (71)申请人天津大学地址 30