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本公开提供一种闸阀和驱动方法，能够减少气体泄漏。闸阀在具有设置有第一开口部的第一腔室的真空处理装置中对所述第一开口部进行开闭，所述闸阀具备：阀体，其用于对所述第一开口部进行开闭；驱动部，其用于使所述阀体移动，以使所述阀体至少取关闭所述第一开口部的位置即关闭位置和打开所述第一开口部的位置即打开位置；第一气体线路及第二气体线路；以及第一切换阀，其用于将所述第一气体线路和所述第二气体线路中的一方与所述驱动部连接，其中，所述驱动部通过从所述第一气体线路或所述第二气体线路供给来的气体的压力来使所述阀体从所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116146729 A
(43)申请公布日 2023.05.23
(21)申请号 202211409327.5
(22)申请日 2022.11.11
(30)优先权数据
2021-188737 202
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