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微纳传感装置及其制备方法、pH值检测方法.pdfVIP

微纳传感装置及其制备方法、pH值检测方法.pdf

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    本申请提供一种微纳传感装置，用于在线检测水体的pH值，包括：阳极键合封装形成的玻璃基片与硅基片，所述玻璃基片上设有参比电极；所述硅基片上开设有储液池以及与所述储液池相通的微纳米孔用以稳定所述参比电极；所述硅基片上还装设有铂对电极与氢离子敏感场效应晶体管，所述铂对电极与所述氢离子敏感场效应晶体管构成pH值测量回路，通过所述氢离子敏感场效应晶体管检测输出电压，并根据所述输出电压与所述参比电极的差值确定所述水体的pH值。本申请还提供一种微纳传感装置的制备方法以及pH值检测方法。通过本申请，能够提高pH

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112268942 A (43)申请公布日 2021.01.26 (21)申请号 202010949639.X (22)申请日 2020.09.10 (71)申请人 江苏中天科技股份有限公司

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