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2023-05-26 发布于四川
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一种模具PVD涂层方法.pdf

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本发明涉及一种模具PVD涂层方法，其包括步骤，对模具表面进行抛光、清洗及烘干；将反应炉抽气并加热；将模具送入反应炉内，并通气后去除模具表面的氧化物；及以时间为单位，分别以20V‑40V的偏压，2.0Pa‑3.0Pa的气压环境及40V‑135V的偏压，3.0Pa‑5.0Pa的气压环境，分阶段将靶材离子化为离子状态，沉积于模具表面，以依次形成过渡层及工作层，最终在模具表面形成涂层。本发明提供的模具PVD涂层方法可以提高模具表面硬度、耐磨性能，满足模具的工作条件，提高了模具寿命以及成型零件质量。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112267095 B (45)授权公告日 2022.04.19 (21)申请号 202010965277.3 C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日

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