半导体装置及半导体装置的制造方法.pdfVIP

半导体装置及半导体装置的制造方法.pdf

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提供一种具有良好的电特性的半导体装置。通过如下工序在衬底上形成金属氧化物：对其内部设置有衬底的处理室引入第一前驱物的工序；第一前驱物的引入后引入第一氧化剂的工序；第一氧化剂的引入后引入第二前驱物的工序；以及第二前驱物的引入后引入第二氧化剂的工序。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112292752 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 201980037622.2 (74)专利代理机构中国贸促会专利商标事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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