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本发明提供了一种用于晶圆清洗的滚刷组件，包括：辊筒，其表面具有多个均匀分布的出液孔；第一固定件，其配置于所述辊筒的一端并且具有连通所述辊筒的进液口；第二固定件，其配置于所述辊筒的另一端，用于在外部驱动装置的作用下致所述辊筒转动；海绵，其包覆所述辊筒的外表面并形成一体；所述辊筒内还配置有内芯，其表面具有芯孔，使得清洗液经由所述进液口流入所述内芯后，经由所述芯孔匀流后由所述出液孔排出到达所述海绵；所述芯孔沿所述内芯的圆周面上的螺旋线等距分布。本发明通过增设内芯可以有效调节清洗液在辊筒内的流速分布，使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116140261 A
(43)申请公布日 2023.05.23
(21)申请号 202211692065.8
(22)申请日 2022.12.28
(71)申请人 华海清科股份有限公司
地址 30
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版权声明书
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