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本申请提供一种适用于薄壁零件的激光微孔加工设备及加工方法。激光微孔加工设备包括设备支架和设置于设备支架上的激光发生装置、复合光束扫描头,复合光束扫描头包括双摆轴连接机构和沿光路传播方向依次设置于双摆轴连接机构上的光平移组件、振镜扫描组件和聚焦镜。双摆轴连接机构包括依次垂直连接的第一摆轴、第二摆轴和加工轴,第一摆轴用于带动第二摆轴和加工轴绕第一摆轴转动,第二摆轴用于带动加工轴绕第二摆轴转动。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112264722 A
(43)申请公布日 2021.01.26
(21)申请号 202011109250.0
(22)申请日 2020.10.16
(71)申请人 西安
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