一种晶圆分选设备及晶圆分选方法.pdfVIP

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2023-05-26 发布于四川
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一种晶圆分选设备及晶圆分选方法.pdf

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本公开提供一种晶圆分选设备及晶圆分选方法，该设备包括：分选腔室，包括第一层腔室和第二层腔室，第一层腔室的下料端设有第一下料口，第一层腔室内设有第一传送带；第二层腔室的下料端设有第二下料口，第二层腔室内设有第二传送带；在分选腔室的上方设有过滤风机单元；校准器单元，位于分选腔室的上料端，校准器单元至少设有第一上料口和第二上料口，校准器单元内部设至少两个机械手臂，第一机械手臂用于将OK晶圆从第一上料口转移至第一层腔室的第一传送带上，第二机械手臂用于将NG晶圆从第二上料口转移至第二层腔室的第二传送带上。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112275671 B (45)授权公告日 2021.04.13 (21)申请号 202011557684.7 H01L 21/67 (2006.01)