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激光加工装置.pdfVIP

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    激光加工装置(1)具有：激光振荡器(2)，其射出激光；加工头(4)，其具有将激光向被加工物(11)聚光的光学系统；驱动部(5)，其对被加工物(11)和加工头(4)的相对位置关系进行控制；控制装置(6)，其按照所设定的加工条件对激光振荡器(2)及驱动部(5)进行控制，以使得激光对被加工物(11)上的加工路径进行扫描；检测部(7)，其对加工中的被加工物(11)的状态进行观测，将观测结果作为时间序列信号进行输出；加工状态观测部(8)，其针对将加工路径分割为多个而成的每个区间，基于时间序列信号对被加工物

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112334264 B (45)授权公告日 2022.07.05 (21)申请号 201980040885.9 (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理

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