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本发明公开了一种基于垂直耦合光栅集成的Encoder芯片,其使用SOI基片制作,然后在其顶层形成垂直耦合光栅区、SOI波导传输区、PD注入区和金属电极区,由指示光栅光路生成的莫尔条纹将从垂直耦合光栅耦合进SOI波导传输区的结构中,再由SOI波导传输区的结构将光信号传递到PD注入区。光信号将在PD注入区生成光生载流子,从而被金属电极区所引出。金属电极区将覆盖整个PD注入区表面以免受到杂散光干扰,该方案可将原本的信号处理分辨率从10μm突破到SOI波导的尺寸300nm‑700nm,而这些都是在不使用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112304346 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 201910700202.X (56)对比文件
(22)申请日 2019.07.31
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