半导体工艺设备.pdfVIP

下载本文档

7
0
约1.4万字
约 14页
2023-05-27 发布于四川
举报
版权申诉

半导体工艺设备.pdf

1、本文档共14页，其中可免费阅读13页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请实施例提供了一种半导体工艺设备。该半导体工艺设备包括：工艺腔室、负载腔室及传输腔室；工艺腔室内设置有基座及聚焦环，聚焦环设置于基座上，基座用于承载待加工件；负载腔室内设置有支撑组件，支撑组件用于承载待加工件及聚焦环；传输腔室与工艺腔室及负载腔室均连通，传输腔室内设置有机械手，机械手用于在负载腔室及工艺腔室之间传送待加工件或聚焦环。本申请实施例实现了无需开启工艺腔室的上盖即可实现对聚焦环进行更换，从而大幅缩短了工艺腔室的维护时间，并且由于无需对工艺腔室进行开盖，还节省了半导体工艺设备的复机时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112331548 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 202011156384.8 (22)申请日 2020.10.26 (71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

半导体工艺设备.pdfVIP