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本发明创新提供了一种带有上下开启式管式炉的真空设备系统,其中管式炉1,2可以独立上下移动,管式炉的过滤系统(3)装有与加热或制冷系统相连卡槽,卡槽内可以装“人”字型过滤栅板及组合,栅板中间立柱上布有透气孔;真空系统包括真空计、真空阀门、低真空前级泵和高真空二级泵、连接管线;控制系统包含主机、监控与控制程序、显示屏、温度控制与显示等。本发明提供的上下开启式的管式炉具有快速降温的效果,提升工作效率。具有高效吸附性能、防机械泵返油的“人”字型栅板及组合的过滤、吸附系统;栅板容易拆洗、更换,操作的简便,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116164540 A
(43)申请公布日 2023.05.26
(21)申请号 202111405555.0
(22)申请日 2021.11.24
(71)申请人 上海蓝骋光电科技有限公司
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