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具有减小的内部应力的通过双电铸形成的具有锥角开口的阴影掩模.pdfVIP

具有减小的内部应力的通过双电铸形成的具有锥角开口的阴影掩模.pdf

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    本公开内容的实施方式提供了用于阴影掩模的方法和设备。在一个实施方式中，提供了一种阴影掩模，并且所述阴影掩模包括：框架，所述框架由金属材料制成；以及一个或多个掩模图案，所述一个或多个掩模图案耦接到所述框架，所述一个或多个掩模图案包括具有小于或等于约14微米/米/摄氏度的热膨胀系数的金属并具有形成在其中的多个开口，所述金属具有约5微米至约50微米的厚度并具有形成在其中的边界，所述边界各自限定精细开口，所述边界具有形成在所述边界的基板接触表面上的凹陷表面，其中所述一个或多个掩模图案中的每者在约70,0

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112335069 A (43)申请公布日 2021.02.05 (21)申请号 201880094860.2 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理

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