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能够更简便地提供具有玻璃厚度为300μm以下的薄玻璃基板的玻璃装置。在玻璃装置的制造方法中,在玻璃基板(10)中形成一个以上的贯通孔(40),并经由贯通孔(40)将玻璃基板的第一面上的第一布线(14)和第二面上的第二布线(15)连通起来。在形成第一布线(14)以后,通过蚀刻形成贯通孔(40)并且使玻璃基板(10)变薄,然后形成贯通孔(40)内的布线和第二布线(15),变薄后的玻璃基板(10)的厚度为50μm以上300μm以下,贯通孔(40)的形状为圆锥台形状。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112335037 A
(43)申请公布日 2021.02.05
(21)申请号 201980036910.6 (74)专利代理机构 北京天昊联合知识产权代理
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