一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法.pdf

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本发明提供了一种石墨烯/铜复合金属互连线的制备方法，包括以下步骤：A)将铜粉和石墨烯混合后进行球磨，得到混合粉体；所述石墨烯占所述混合粉体质量的1～8％；B)在保护性气氛下，将所述混合粉体进行微波热压烧结，和热等静压，得到铜/石墨烯靶材；所述微波热压烧结的真空度达到10‑4Pa以下时，开始升温，升温速率为10～20℃/min，升至500～600℃后，再以20～30℃/min的速率升至750～950℃，保温0.1～1小时；C)使用所述铜/石墨烯靶材在刻蚀后的硅基底表面进行磁控溅射镀膜，得到石墨烯/

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112349667 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 201910732429.2 (22)申请日 2019.08.09 (71)申请人昆山微电子技术研究院

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