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2023-05-27 发布于四川
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立式晶舟位置的检测系统及检测方法.pdf

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本申请公开了一种立式晶舟位置的检测系统，涉及半导体制造领域。该立式晶舟位置的检测方法包括调试立式晶舟位置的检测系统，令立式晶舟位置的检测系统与传输装置上的预定晶舟位置匹配；开启激光发射器，激光发射器发射激光；通过信号处理器检测光电传感器是否发送电信号；若检测到光电传感器发送电信号，则确定立式晶舟位置未发生偏移；若未检测到光电传感器发送电信号，则确定立式晶舟位置发生偏移；立式晶舟位置的检测系统包括设置在立式晶舟顶部的至少三个挡板、反射板、激光发射器、光电传感器、信号处理器；解决了目前监控立式晶舟的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112331584 B (45)授权公告日 2022.07.19 (21)申请号 202011106131.X (56)对比文件 (22)申请日 2020.10.14

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