- 1、本文档共37页,其中可免费阅读36页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
垂直半导体装置及其制造方法。一种用于制造垂直半导体装置的方法可以包括以下步骤:制备包括第一区域和第二区域的基板;在基板上形成下交替层叠;蚀刻下交替层叠以在第二区域中形成下开口;在下开口和下交替层叠上形成上交替层叠,以在第二区域中形成由于填充下开口而导致的凹进部分;使用凹进部分作为对准键而在上交替层叠上形成掩模层;并且通过使用掩模层作为阻挡件蚀刻上交替层叠以在第一区域中形成图案。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112310099 A
(43)申请公布日
2021.02.02
(21)申请号 20191
您可能关注的文档
- 信息推送方法、装置、设备及可读介质.pdf
- 一种用于管道检测的成像设备.pdf
- 用于多媒体广播群播服务管理的广播多播服务中心及方法.pdf
- 穿戴式装置以及操作方法.pdf
- 一种信息推送方法、装置、移动终端及存储介质.pdf
- 一种信息发布方法、装置、计算机设备及存储介质.pdf
- 用射流喷射湿纤维屑对医疗器械清洗消毒的方法及其装备.pdf
- 烘干装置的风道滤网检测方法和装置.pdf
- 一种图像合成方法、装置、计算机设备及存储介质.pdf
- 电池模组.pdf
- 2025年延边职业技术学院单招职业技能测试题库1套.docx
- 二零二五年度GZ事业单位合同制聘用员工劳动合同终止及结算合同.docx
- 二零二五年度FDA注册委托代理与产品上市许可服务协议.docx
- 2025年大同煤炭职业技术学院单招职业技能测试题库(研优卷).docx
- 2025年毕节医学高等专科学校单招职业技能测试题库含答案(能力提升).docx
- 2025年甘肃建筑职业技术学院单招职业技能测试题库(夺冠).docx
- 2025年山东胜利职业学院单招职业技能测试题库必考题.docx
- 2025年松原职业技术学院单招职业技能测试题库(突破训练).docx
- 2025年贵州护理职业技术学院单招职业技能测试题库推荐.docx
- 2025年度建筑施工安全生产监督合同样本.docx
文档评论(0)