用以改进集成电路工厂吞吐量及循环时间的高容量自主材料处置系统.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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用以改进集成电路工厂吞吐量及循环时间的高容量自主材料处置系统.pdf

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用作工艺间运输机构的异步输送机网络消除了集成电路IC制造环境中基于运载工具的系统的运输能力约束。在不使用例如贮藏库等离线存储装置的情况下，可缓冲需求变化性。还消除了运输服务的等待时间上的变化性。因此，减少了总工厂循环时间，而同时增加了制造能力。自主输送机网络自动化材料处置系统将清洁无摩擦输送机原理与唯一网络布局组合以满足IC制造环境的物流要求。机械输送机对工具界面，还称为设备递送界面EDi，将所述输送机网络桥接到个别工具。操作软件模块将所述输送机网络与EDi的功能性集成在一起。结果是全能力工厂物

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112313788 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 201980037380.7 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

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