用于制造半导体元件或电子存储器的有机金属化合物.pdfVIP

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2023-05-27 发布于四川
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用于制造半导体元件或电子存储器的有机金属化合物.pdf

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本发明涉及符合通式[Ru(芳烃)(Ra‑N＝CR1‑CR3＝N‑Rb)]或[Ru(芳烃)((Rc,Rd)N‑N＝CRH1‑CRH3＝N‑N(Re,Rf))]的化合物。在这种情况下，芳烃选自由以下项组成的组：单核和多核芳烃以及杂芳烃。R1、R3、RH1、RH3和Ra‑Rf独立地选自由以下项组成的组：H、烷基基团(C1‑C10)和芳基基团。本发明还涉及用于制备这些化合物的方法、能够根据这些方法获得的化合物、它们的用途以及在其表面上具有钌层或含钌层的衬底。此外，本发明涉及用于制备化合物[Ru(芳烃)X

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112313240 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 201980040227.X W ·朔恩　E ·韦尔纳　R ·卡希　

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