气体感测器及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.09万字
约 13页
2023-05-27 发布于四川
举报
版权申诉

气体感测器及其制备方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种气体感测器，其包括：基板；底栅极，其位于在基板的一表面；绝缘层，其位于在所述基板具有所述底栅极的表面上且完全覆盖所述底栅极；半导体层，其位于所述绝缘层远离所述基板的一侧；相互间隔的源极和漏极，均与半导体层连接；钝化层，其覆盖所述半导体层；以及顶栅极，其位于所述钝化层远离所述基板的表面且与所述源极和漏极均间隔设置，所述顶栅极的材质为导电的气体敏感材料。本发明还提供气体感测器的制备方法。所述气体感测器利用吸附气体改变顶栅极的电势，从而影响所述漏极的电流，进而可以根据漏极的电流变化侦测气体，所述气

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111380926 A (43)申请公布日 2020.07.07 (21)申请号 20191